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無(wú)掩膜光刻設(shè)備是一種通過(guò)高精度光學(xué)系統(tǒng)直接投射電路圖案至光敏材料的工藝試驗(yàn)儀器，消除了傳統(tǒng)光刻所需的掩膜版制作環(huán)節(jié)。該設(shè)備可分為光學(xué)類(lèi)和帶電粒子類(lèi)，包括激光直寫(xiě)、電子束直寫(xiě)等技術(shù)類(lèi)型。在半導(dǎo)體制造中，其顯著優(yōu)勢(shì)為提升光刻效率、降低生產(chǎn)成本并縮短研發(fā)周期，廣泛應(yīng)用于生物芯片、微機(jī)電系統(tǒng)及先進(jìn)封裝領(lǐng)域。無(wú)掩膜光刻機(jī)基于空間光調(diào)制器掃描技術(shù)或帶電粒子束直寫(xiě)方式，將數(shù)字版圖直接轉(zhuǎn)化為光刻膠上的物理圖形，實(shí)現(xiàn)無(wú)掩?？焖俪尚汀Ｆ浜诵募夹g(shù)指標(biāo)包括最小線(xiàn)寬、自動(dòng)分辨率切換和灰度光刻功能。應(yīng)用...
芯片互聯(lián)三維激光直寫(xiě)設(shè)備是一種無(wú)需掩模、可編程的精密加工系統(tǒng)。它通過(guò)聚焦激光束在光刻膠等材料上直接掃描曝光，實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度的三維結(jié)構(gòu)制造?。技術(shù)特點(diǎn)：?高精度加工?：可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的三維制造，滿(mǎn)足芯片互聯(lián)等對(duì)精度要求高的場(chǎng)景。?無(wú)掩模加工?：直接根據(jù)數(shù)字模型進(jìn)行加工，省去了傳統(tǒng)光刻中制作掩模的步驟和成本?。?三維加工能力?：能夠逐點(diǎn)、逐線(xiàn)或逐層地構(gòu)建三維微納結(jié)構(gòu)，適用于制造微流控器件、光子晶體等復(fù)雜器件。三維激光直寫(xiě)技術(shù)的優(yōu)勢(shì)：1.真三維加工能力突破傳統(tǒng)光刻的平面限制，...
在半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)電路刻蝕中，在航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的微米級(jí)氣膜孔加工中，在生物植入物的超精密表面處理中，超快激光精密加工技術(shù)正以“冷加工、無(wú)熱影響、納米精度”的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成為突破傳統(tǒng)制造極限的核心工具。這項(xiàng)融合了超短脈沖物理、光子學(xué)與材料科學(xué)的交叉技術(shù)，不僅推動(dòng)了制造業(yè)向化躍遷，更在量子芯片、光子計(jì)算、仿生光學(xué)等前沿領(lǐng)域開(kāi)辟了新賽道。一、技術(shù)內(nèi)核：從飛秒脈沖到“冷加工”革命超快激光的核心在于其極短的脈沖寬度——飛秒（10?1?秒）量級(jí)的脈沖持續(xù)時(shí)間，使激光能量在材料內(nèi)部釋放...
飛秒激光擊破發(fā)絲直徑的瞬間，已完成千次循環(huán)，這種超快精密的特性，正重塑現(xiàn)代制造業(yè)的邊界。超快激光加工技術(shù)作為精密制造領(lǐng)域的前沿科技，憑借其獨(dú)特的超短脈沖和超高峰值功率特性，已成為微納尺度加工的性工具。從智能手機(jī)屏幕的異形切割到心臟支架的精密加工，從航空航天材料處理到醫(yī)療設(shè)備制造，超快激光正以其“冷加工”優(yōu)勢(shì)突破傳統(tǒng)制造的局限。01超快激光的物理特性與核心原理超快激光通常指脈沖寬度在皮秒至飛秒級(jí)別的激光脈沖。1皮秒等于十萬(wàn)億分之一秒，而1飛秒更是皮秒的千分之一。在1皮秒時(shí)間內(nèi)，...
近日，在“2025年山東省智能裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展交流活動(dòng)暨2025年度（第六屆）山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)”上，魔技納米憑借“微納三維制造及其光敏材料關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目的突破性技術(shù)創(chuàng)新與顯著產(chǎn)業(yè)價(jià)值，成功摘得“2025年度山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)”！這是我司該成果繼2025年7月斬獲“山東省工程師協(xié)會(huì)工程科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)”、9月獲評(píng)“2024年度中國(guó)好技術(shù)A類(lèi)”及“山東電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”后，科技實(shí)力再獲省級(jí)認(rèn)證！魔技納米團(tuán)隊(duì)深耕微納制造十余年，此次獲獎(jiǎng)的...
雙展聯(lián)動(dòng)構(gòu)建“光電子+半導(dǎo)體”融合生態(tài)9月10-12日，第26屆中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)（CIOE）與SEMI-e深圳國(guó)際半導(dǎo)體展在深圳國(guó)際會(huì)展中心同期舉辦，雙展在展示內(nèi)容、觀(guān)眾群體上深度融合，可一站式洞悉“光電器件-半導(dǎo)體制造-芯片”全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新。在此次雙展聯(lián)動(dòng)的契機(jī)下，魔技納米精心籌備，攜更豐富的產(chǎn)品系列與nanoboostprinter前沿技術(shù)強(qiáng)勢(shì)亮相，展示企業(yè)在跨尺度微納加工領(lǐng)域的成就，成為展會(huì)中備受矚目的焦點(diǎn)。魔技納米現(xiàn)場(chǎng)盛況向左滑動(dòng)查看魔技現(xiàn)場(chǎng)魔技納米三大產(chǎn)品系列魔技納...
微納3D打?。∕icro/Nano3DPrinting）是一種通過(guò)逐層添加材料的方式，在微米或納米尺度上制造三維物體的技術(shù)。與傳統(tǒng)的3D打印技術(shù)不同，微納3D打印技術(shù)能夠在極其精細(xì)的尺度上進(jìn)行高精度打印，通常應(yīng)用于微小尺寸的物體、結(jié)構(gòu)以及高性能功能材料的制造。1.基本概念微納3D打印是基于增材制造（AdditiveManufacturing,AM）原理，采用數(shù)字化設(shè)計(jì)，通過(guò)層層疊加材料的方式逐步構(gòu)建出三維物體。其最大的特點(diǎn)在于精度和分辨率，可以在微米甚至納米尺度上制造具有復(fù)雜...
三維激光直寫(xiě)系統(tǒng)是一種先進(jìn)的微納加工技術(shù)，它利用高度聚焦的激光束在材料表面或內(nèi)部進(jìn)行精確的圖案化處理。這種技術(shù)能夠在不需要掩膜的情況下直接根據(jù)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)（CAD）模型制造出復(fù)雜的三維微觀(guān)結(jié)構(gòu)，因此在微電子學(xué)、光子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)工程、納米科技等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。工作原理三維激光直寫(xiě)系統(tǒng)通常使用飛秒激光器或皮秒激光器產(chǎn)生超短脈沖激光。這些激光脈沖具有高的峰值功率和非常短的作用時(shí)間，可以在不影響周?chē)牧系那闆r下實(shí)現(xiàn)對(duì)焦點(diǎn)處材料的精確改性或去除。通過(guò)精密控制激光束的位置和強(qiáng)度...
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